離子源是使中性原子或分子電離，并從中引出離子束流的裝置。它是各種類型的離子加速器、離子源鎢鉬配件、質(zhì)譜儀、電磁同位素分離器、離子注入機、離子束刻蝕裝置、離子推進器以及受控聚變裝置中的中性束注入器等設(shè)備的不可缺少的部件。

　　半導(dǎo)體晶體外延設(shè)備難熔鎢鉬配件：GaN-MOCVD設(shè)備集精密機械、電子、光學(xué)、化學(xué)、計算多學(xué)科為一體，是一種自動化程度高、價格昂貴、技術(shù)集成度高的尖端光電子專用設(shè)備，用于GaN系半導(dǎo)體材料的外延生長和發(fā)光二極管（LED）芯片的制造。MOCVD設(shè)備專用鎢

、鉬配件：上下隔熱片、鎢中段加熱器、中電極板、百葉閥隔熱環(huán)、冷卻隔熱板等深加工產(chǎn)品。

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